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流量傳感器 FS4001 系列
FS4001系列氣體流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器
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